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SR100 薄膜分析仪

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産品描述
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簡介
規格參數
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簡介


  SR系列薄膜分析産品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,爲人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

 

  産品詳情:

基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
2,實現薄膜均勻性檢測
3,實現反射、投射以及顔色測量

産品特點

  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
  简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
  快捷、准确、稳定的参数测试;
  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用户控制模式;
  支持多功能模拟计算等等。

系統配置

  型号:SR100R
  探测器: 2048像素的CCD线阵列
  光源:高稳定性、长寿命的卤素灯
  光传送方式:光纤
  台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小
  软件: TFProbe 2.2版本的软件
  通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
  测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
  电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间
  电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整机及零备件保修

 

規格尺寸


  波长范围:250nm到1100 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
  基板尺寸:最多可至50毫米厚
  测量厚度范围*:2nm~50μm
  测量时间:最快2毫秒
  精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
  重复性误差*:小于1 

可選配件項

  用于传递和吸收测量的传动夹具(SR100RT) )
  最低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多个位置下,多个通道用于同时测量 (SR100xX)
  在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM100-200/300)

 

應用系統


  主要應用于透光薄膜分析類領域:

  1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

  2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 医学,生物薄膜及材料领域等

  5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

  6 医药,中间设备

  7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半导体化合物

  9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

  10 非晶体,纳米材料和结晶硅

未找到相應參數組,請于後台屬性模板中添加

  圖片:

  

  簡介:

  SR系列薄膜分析産品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,爲人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

 

  産品詳情:

基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
2,實現薄膜均勻性檢測
3,實現反射、投射以及顔色測量

産品特點

  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;
  简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;
  快捷、准确、稳定的参数测试;
  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用户控制模式;
  支持多功能模拟计算等等。

系統配置

  型号:SR100R
  探测器: 2048像素的CCD线阵列
  光源:高稳定性、长寿命的卤素灯
  光传送方式:光纤
  台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小
  软件: TFProbe 2.2版本的软件
  通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
  测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
  电脑硬件要求:P3以上、最低50 MB的空间
  电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整机及零备件保修

 

  規格參數:

  波长范围:250nm到1100 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
  基板尺寸:最多可至50毫米厚
  测量厚度范围*:2nm~50μm
  测量时间:最快2毫秒
  精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
  重复性误差*:小于1 

可選配件項

  用于传递和吸收测量的传动夹具(SR100RT) )
  最低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多个位置下,多个通道用于同时测量 (SR100xX)
  在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM100-200/300)

 

  應用系統:

  主要應用于透光薄膜分析類領域:

  1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

  2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

  4 医学,生物薄膜及材料领域等

  5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

  6 医药,中间设备

  7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半导体化合物

  9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

  10 非晶体,纳米材料和结晶硅

暫未實現,敬請期待
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