橢偏儀——SE500_北京亚博app有限公司

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簡介

SE500
橢偏儀是一种利用光的偏振态变化来进行薄膜性质表征的仪器，主要用来测量薄膜材料的厚度、NK参数等性质。橢偏儀的主要原理是将自然光（紫外光、可见光以及红外光）变成完全偏振光后通过一定角度入射到样品上，偏振光进入样品介质后会反射回到橢偏儀检偏器内，由于样品介质会对偏振光的偏振态发生改变，而这种改变会被橢偏儀精确测量，橢偏儀就是利用这个介质对偏振光性质改变的原理来表征介质的性质的。
SE500型號采用雙光譜儀耦合實現250-1700nm超長波段的探測，可實現對材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究，同時可搭配自動平台掃描、自動變角、微光斑探測以及平台加熱等功能滿足不同應用需求。

系統配置:

探測器：陣列探測器,

光源：高功率的DUV-Vis-NIR複合光源

軟件：TFProbe 3.3版本的軟件

入射角度變化：手動調節

測量種類：薄膜厚度、折射率和消光系數以及多層膜堆疊

計算機：Intel雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

电源：110–240V AC/50-60Hz，6A

保修：一年的整機及零部件保修

規格參數

波长范围：250nm到1700 nm

光斑尺寸：1mm至5mm可變

樣品尺寸：直徑可達200mm

測量厚度範圍*：30μm

測量時間：約1秒/位置點

入射角範圍：20到90度，5度間隔

重複性誤差*：小于1

可選項配置:

用于反射的光度測量或透射測量；

用于測量小區域的微小光斑；

用于改變入射角度的自動量角器；

X－Y成像平台(X-Y模式，取代ρ-θ模式)；

加熱/致冷平台；

樣品垂直安裝角度計；

波長可擴展到遠DUV或IR範圍；

掃描單色儀的配置；

聯合MSP的數字成像功能，可用于對樣品的圖像進行測量等。

其他選項配置:

用于玻璃基底測量的特殊樣品架

用于觀察樣品區的可視模塊

加熱或制冷平台

可用于實時在線測量

其他尺寸的樣品台

用于 Liquid Cell 的特殊配置

用于單波長或窄波段探測的單色掃描儀配置

相關産品

光譜反射分析系列：SR100、SR300、SR500等

微光斑分析系列：MSP100、MSP300、MSP500等

橢偏儀系列：SE200BA、SE200BM等

自動掃描測試平台：M100、M150、M200等

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SE500簡介
橢偏儀是一种利用光的偏振态变化来进行薄膜性质表征的仪器，主要用来测量薄膜材料的厚度、NK参数等性质。橢偏儀的主要原理是将自然光（紫外光、可见光以及红外光）变成完全偏振光后通过一定角度入射到样品上，偏振光进入样品介质后会反射回到橢偏儀检偏器内，由于样品介质会对偏振光的偏振态发生改变，而这种改变会被橢偏儀精确测量，橢偏儀就是利用这个介质对偏振光性质改变的原理来表征介质的性质的。
SE500型號采用雙光譜儀耦合實現250-1700nm超長波段的探測，可實現對材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究，同時可搭配自動平台掃描、自動變角、微光斑探測以及平台加熱等功能滿足不同應用需求。